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 | | 名称：六氟乙烷 型号： | |  |  | |
六氟乙烷c2f6
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商品详细介绍 |
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a colorless，nonflammable，compressed gas.(一种无色不燃压缩气体) |
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formula(分子式)： |
c2f6 |
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molecular weight(分子量): |
138.01g/mol |
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boiling point(沸点): |
-78.2℃ |
-108.76°f |
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melting point(熔点)： |
-100.7℃ |
-149.27°f |
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vapor pressure(蒸汽压): |
2965kpa（21.1℃） |
430psia(70°f) |
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specific volume(比容): |
0.174m3/kg(21.1℃,101.325kpa） |
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2.8ft3/lb(70°f,14.696psia) |
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un number(un号码)： |
un2193 |
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dot classification(dot类别): |
2.2(nonflammable gas)(不燃性气体) |
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dot lable(dot标签): |
non-flammable gas(不燃性气体) |
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grsde(级别): |
5n |
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purity(纯度): |
99.999% |
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纯度规格 |
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impurity(非组分): |
specification(标准） |
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oxygen(氧): |
≤2.0 ppmv |
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nitrogen(氮): |
≤8.0 ppmv |
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carbon dioxide(二氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
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carbon monoxide(一氧化碳): |
≤0.5 ppmv |
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other organics(其他有机物)： |
≤0.1 ppmv |
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water(水): |
≤1.5 ppmv |
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acidity as hf(酸化物，如氟化氢)： |
≤0.1 ppmv |
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包装 |
容积 |
重量 |
连接阀门 |
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小钢瓶 |
44l |
43kg |
cga660 diss716 |
应用：刻蚀气体/等离子刻蚀
| | | 点击次数：1241 |  |
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