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 | | 名称：三氟化氮 型号： | |  |  | |
三氟化氮nf3
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商品详细介绍 |
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a colorless,toxic,nonflammable,oxidizing,high pressure gas.
(一种无色、有毒、不燃、具有氧化性的高压气体) |
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formula（分子式）： |
nf3 |
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molecular weight(分子量): |
71.02g/mol |
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boiling point(沸点): |
-73℃ |
-99.4°f |
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melting point(熔点)： |
-168℃ |
-270.4°f |
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vapor pressure(蒸汽压): |
9997kpa（21.1℃） |
1450psia(70°f) |
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specific volume(比容): |
0.34m3/kg(21.1℃,101.325kpa） |
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5.4ft3/lb(70°f,14.696psia) |
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threshold limit value（人体的最高容许浓度）: |
10ppm |
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un number(un号码)： |
un2451 |
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dot classification(dot类别): |
2.2(nonflammable gas)(不燃气体) |
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dot lable(dot标签): |
non-flammable gas (不燃气体) |
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grsde(级别): |
4n |
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purity(纯度): |
99.99% |
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纯度规格 |
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impurity(非组分): |
specification(标准） |
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oxygen(氧): |
≤10.0 ppmv |
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nitrogen(氮): |
≤10.0 ppmv |
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carbon dioxide(二氧化碳): |
≤10.0 ppmv |
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carbon tetrafluoride(四氟化碳)： |
≤40.0 ppmv |
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water(水): |
≤1.0 ppmv |
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acidity as hf(酸化物，如氟化氢)： |
≤5.0 ppmv |
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nitrous oxide（氧化亚氮） |
≤10.0 ppmv |
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包装 |
容积 |
重量 |
连接阀门 |
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小钢瓶 |
44l |
20kg |
cga640 |
应用：等离子刻蚀；硅、氮化硅、钨·硅化合物和钨薄膜的刻蚀；cvd炉室清洗
| | | 点击次数：1281 |  |
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